日前，国内半导体质量控制设备领域领军企业——中科飞测华中研发生产基地项目落户光谷，选址武汉未来科技城，核心布局明/暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备。
中科飞测研发场景
半导体质量控制设备常被称为芯片制造的“眼睛”和“尺子”，贯穿集成电路制造从晶圆裸片到先进封装的全部关键工艺环节，对芯片最终良率的提升至关重要。在晶圆厂对于前道设备的资本支出中，量检测设备占比约14%，是继光刻、薄膜沉积、刻蚀设备后的第四大细分领域。
中科飞测自2014年成立以来，经过10余年的自主研发创新，在多项高端半导体质量控制设备关键核心技术上持续突破海外垄断，达到国际先进水平。2023年公司成功登陆科创板上市，成为国内第一家在科创板上市的半导体质量控制设备企业。截至目前，公司产品已覆盖国内超70%的半导体质量控制设备市场容量，累计出货超1500台，服务超300家客户产线，并已广泛应用于国内先进制程生产线，在产品种类、技术先进性、客户覆盖率、市场占有率等方面均稳居国内领先地位。
中科飞测与光谷早有合作。2024年，公司就在东湖高新区设立研发中心。此次基地建设是企业由研发向制造延伸，将进一步强化华中区域布局，更好服务国内头部集成电路制造客户，助力光谷集成电路产业“筑链成势”。
